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[会议论文] 作者:李香萍,张宝林,张源涛,董鑫,赵旺,夏晓川,杜国同, 来源:第十届全国MOCVD学术会议 年份:2007
本文采用光辅助MOCVD技术在(100)p-Si和蓝宝石衬底上制备了ZnO薄膜。通过光致发光(PL)谱、X射线衍射(XRD)仪和霍尔(Hall)测试等对薄膜的特性进行了表征,分析比较了光辅助对薄膜特性的影响。实验发现,光照可以改善薄膜的结晶质量和光学质量,并且光辅助条件下生长......
[会议论文] 作者:李香萍[1]张宝林[1]张源涛[1]董鑫[2]赵旺[1]夏晓川[1]杜国同[3], 来源:第十届全国MOCVD学术会议 年份:2007
本文采用光辅助MOCVD技术在(100)p-Si和蓝宝石衬底上制备了ZnO薄膜。通过光致发光(PL)谱、X射线衍射(XRD)仪和霍尔(Hall)测试等对薄膜的特性进行了表征,分析比较了光辅助对薄...
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