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[期刊论文] 作者:梁友生,曹益平,邢廷文,
来源:电子工业专用设备 年份:2004
回顾了光刻对准技术的发展功能,对各种对准方法的原理和特点进行了分析和评价,介绍了几种典型主流光刻对准系统结构形式,并对光刻对准技术前景进行了描述与展望。...
[期刊论文] 作者:梁友生,周金梅,曹益平,邢廷文,
来源:电子工业专用设备 年份:2004
对100nm线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴加离轴对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中,该对准算法模型有一定可行性,能很好地满足100nm线宽对准...
[期刊论文] 作者:曹益平,何卫国,梁友生,赵新亮,常山,
来源:激光杂志 年份:2004
本文提出了一种采用离焦技术有效获取一捆新钞纸张信息的光学信息处理方法.给出了由光学离焦引起的光学低通滤波的数学解析描述.并用实验证明了光学离焦对钞票纸张识别的有效...
[期刊论文] 作者:何卫国,曹益平,梁友生,赵新亮,常山,
来源:光学技术 年份:2004
基于显微测量技术和CCD测量技术,提出了新钞票在线数点的一种新方法,研究了基于DSP实现的各种数据处理方法。多次测试的数据经过二值化后得到了相同的计数结果,准确地反映了钞票的纸张信息。实验证明了这种钞票数点方法的正确性及DSP数据处理的有效性。......
[会议论文] 作者:曹益平,何卫国,梁友生,赵新亮,常山,
来源:中国光学学会2004年学术大会 年份:2004
本文提出了一种采用离焦技术有效获取一捆新钞纸张信息的光学信息处理方法。给出了由光学离焦引起的光学低通滤波的数学解析描述。并用实验证明了光学离焦对钞票纸张识别的有...
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