DSW相关论文
本文根据多年来的实验结果和工作经验,探讨在研制投影光刻精细线条的照明系统中,解决关于大照明面积、高照明均匀性、高象面照度及......
我国在DSW投影光刻机研制中,一台后起之秀在中科院光电技术研究所(成都)脱颖而出。1990年3月12～13日在成都由中国科学院召开该机研......
目的:观察龙蒲定神丸(DSW)对小鼠行为学的影响并考察其急性毒性。方法:将60只小鼠随机分为5组,每组12只,阴性对照组(生理盐水)、阳......
本文从最基本的角度出发,介绍了亚微米分步重复投影光刻机中的一项新的检测技术——基准校正技术。简要地说明了该项技术的重复性......
针对小麦种质资源贫乏和遗传基础狭窄的现状，开展了利用矮败轮回选择工具创新小麦种质资源的应用研究。因地制宜地提出了应用矮败小......
以原代培养的大鼠肝细胞为体外实验模型，运用红外光谱、高压液相色谱、气相色谱－质谱联机等技术、完成了对多噻烷在啮齿动物体内主要......
6月13日，DSW中国葡萄酒课程在烟台国际葡萄酒博览会上首次试讲。作为全球首部中国葡萄酒课程，旨在向世界发出中国葡萄酒自己的声音，讲......
<正> 〔本刊讯〕由中国科学院光电技术研究所承担的“七五”国家重点科技攻关项目IOE1010G 直接分步重复投影光刻机(简称DSW 光刻......
<正> 一、前言繁多的工业部门,广阔的测温范围,随之产生了多种多样的测温方法,使得测温元件种类颇多。例如:常见的测温方法有热电......
<正> 一种新研制成功的DSW—1型回路电阻测试仪已由上海机器人智能技术公司投入生产。该仪器采用数显技术,测量范围1—2000μΩ,精......
ＤＳＷ投影物镜的温控系统王继红（中国科学院光电技术研究所四川双流６１０２０９）１引言分步投影光刻机是集成电路专用设备中的关键设备。随着光刻精度的......
期刊
分步光刻机是制作VLSI和ULSI的关健设备,是光学微细加工技术的中坚。本文概述了它的主要特点及其发展趋势,阐明了研制我国自己的分......
