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下游式等离子体相关论文
0.18μm以下低k介质材料上的低离子等离子体去胶工艺
本文论述了下游式等离子体在多种Cu/低k材料上去胶及去残留物的工艺应用,主要有3类低k材料的实验数据——有机类、掺氮氧化物和多孔......
期刊
下游式等离子体
低K介质材料
去胶工艺
掺氮氧化物
多孔性低k材料
等离子体气氛
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