侧壁粗糙度相关论文
在现代光纤通信和计算机内光互联等领域中绝缘体上硅(silicon-on-insulator,SOI)光波导已经得到了广泛应用,硅光子器件以低的控制成......
绝缘体上硅光波导侧壁粗糙度引起的光损耗是限制硅基集成线路被广泛应用的重要因素之一,利用激光扫描共聚焦显微镜精确测量了SOI波......
SU-8负性光刻胶可通过UV-LIGA技术得到高深宽比微结构,是微机械系统(MEMS)制造中极具前景的一种技术。目前已有对于SU-8微结构的线宽......
由于SEM显微镜、FIB显微镜检测高深宽比硅通孔耗时、费用高,研究了垂直扫描白光干涉技术检测硅通孔的可行性。设定刻蚀/钝化时间比......
微流控生物芯片作为一种重要的分析技术,体现在它能将生化分析的许多过程与步骤,即成微缩在手掌大小的一片固体支撑物上来完成。相......
基于绝缘体上硅SOI(Silicon-on-insulator,SOI)的光学谐振腔因其具有集成度高、功耗低、灵敏度高等特点而广泛应用在光学通信、光学......
与传统材料不同,SOI特有的结构特点所带来的优势使其同时具有优异的光学性能和电学性能,且其工艺与CMOS工艺完全兼容,可以实现低成......