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电化学湿法腐蚀法制备硅微柱阵列
采用 TMAH (Tetramethyl Ammonium Hydroxide) 腐蚀液在 P(100) 硅片上制备倒棱台, 进而采用电化学湿法刻蚀法制备具有微柱结构的阵列......
期刊
无机非金属材料
硅微尖阵列
倒棱台
微柱形成模型
HF阳极电化学腐蚀
TMAH各向异性湿法腐蚀
inorganic non - metallic materia
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