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本文阐述了硅微尖阵列的制备工艺。实验以直径4英寸的n型(100)晶向的硅片为基片,首先在硅片表面氧化生成一层厚度为250nm的二氧化......
利用光刻热熔及法氩离子束刻蚀技术制作 128*128元面阵硅场发射器件。采用扫描电子显征购 间和表探针等测试手段分析所制成的面阵硅微尖......
利用各向同性腐蚀制备了硅微尖阵列,并考察了各主要工艺参数对微尖形貌的影响。...
采用 TMAH (Tetramethyl Ammonium Hydroxide) 腐蚀液在 P(100) 硅片上制备倒棱台, 进而采用电化学湿法刻蚀法制备具有微柱结构的阵列......