光学邻近校正(OPC)相关论文
在一种新颖的快速光刻模拟算法的基础上 ,提出了一种新的基于稀疏空间点光强计算的二维成像轮廓提取算法 .该算法能够根据版图特点......
基于部分相干成像理论,考虑了投影曝光系统成像的非线性滤波特点,分析了投影光邻近效应(OPE)产生的机理,模拟了掩模上线条的线宽、......
