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刻蚀腔环境相关论文
刻蚀腔环境对电介质刻蚀混合制程的影响研究
刻蚀工艺要求具有良好的工艺精确性和重复性,但是当在同一个刻蚀腔内连续混合刻蚀差异较大的不同工艺时,一些关键工艺的规格往往会......
学位
刻蚀腔环境
硬掩模刻蚀
等离子体
关键尺寸
聚合物
电介质刻蚀
CF2基团
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