关键尺寸相关论文
阐述在14nm FinFET及以下工艺,由于器件需要,较多制程刻蚀后关键尺寸为22nm。DUV光刻工艺关键尺寸的极限38nm左右。探讨在形成最终的......
随着集成电路中关键尺寸的不断减小,测量精度要求达到原子级才能保证器件的有效性,这给纳米线宽的精确测量带来了新的挑战。2018年第......
在线测量检测技术与装备是保证集成电路(IC)制造质量和良率的唯一有效技术手段,在IC制造过程中必须对IC纳米结构的关键尺寸、套刻误差......
总压探针结构是影响探针性能的关键因素,结构对总压系数、不敏感角大小等性能影响很大.为了研究总压探针性能的结构敏感性,制作不......
摆线减速器作为一种新型减速器,可用于火炮炮塔传动机构、工业机器人、数控机床和雷达等方面.摆线偏心轴作为摆线减速器的核心零件......
期刊
当前,在5G、云计算、人工智能以及大数据等需求的强力推动下,作为基础工艺的集成电路制造技术发展迅猛,器件的关键尺寸不断缩小,同......
阐述背照式图像传感器(Backside Illumination,BSI)芯片,将硅片减薄后,在photodiode背面搭建CF及Micro Lens,光线由背面射入,增大......
四轮定位参数对底盘综合性能非常关键,参数角度受实物制造过程偏差影响,因此尺寸工程需要在前期设计阶段进行角度偏差校核。定位参......
液晶显示器薄膜晶体管(TFT)的栅极需经光刻工艺制得.在光刻工艺中,除曝光与显影环节外,光刻胶显影后的关键尺寸(DICD)和锥角(Taper......
为了避免塑料容器结构设计中依据经验确定尺寸带来的结构性能的不足,应用ANSYS Workbench中的Response Surface Optimization模块,......
不用离轴滤波器增大焦深的新型曝光方法已研制成功,为KrF(248nm)准分子激光光刻技术生产第二代64MDRAM器件增添了活力。用这种新方法制作0.35μm的X、Y向及斜......
步进扫描曝光设备产生的抗蚀图像质量取决于晶片台与掩模台的同步性能、光学系统的质量。要获得高生产效率和025 μm 以下的分辨率能......
随着超大规模集成电路 (VLSI)图形密度的增大 ,邻近效应已成为光学光刻的关键问题之一。通常在平整硅片上对 0 5 μm图形采用 0 ......
针对机械系统的性能要求,对机械系统结构设计。其中包括检测装置本体框架、零部件设计、检测装置水平导轨和垂直导轨机构设计、检......
英特尔院士、半导体国际技术蓝图组织主席PaoloGargini日前表示,标准化可能比过去还要更进一步,使纳米技术能在450mm直径的晶圆上......
双重图形(DP)将是32nm技术节点的备选光刻技术之一。但由于这种方法需要两次曝光和两次刻蚀步骤,因此工艺成本较高且比较耗时。IME......
我厂新生产的汽车前悬挂零件转向节,有些关键尺寸用一般检测方法无法测量,用三维坐标仪价格昂贵,在成批大量生产车间也无法维护保......
本文对1E47F-M 汽油机采用不同气缸体的试验结果进行了分析研究,并着重比较了该机采用我厂生产的 LY80气缸体与采用雅马哈80汽油机......
本文报导GST(Ge2Sb2Te5)CMP工艺的挑战和解决方法。通过适当的抛光垫选择、工艺方案和清洗步骤优化解决GST的污染问题。实现最小氧......
随着水力资源的开发,转桨式水轮机叶片日趋增大。采用多层弧板组合式流线样板检查弧长8m的葛洲坝水轮机叶片已不适用.本文提出并阐......
1 问题的出现消失模铸造工艺在我国已有了十几年的发展,具有了一定的规模,但主要是用于简单的黑色金属铸件的生产,用于铝合金铸件......
配制方法介绍如下: 杠杆短臂测头按图1民寸进行加工。图中12.5±0.03是关键尺寸,我们采用图2所示的方法来实现。图2中,1——测量......
该装置可测量基片与遮板间的光学间隙,以及大规模集成电路的关键尺寸和电路的金属版印刷的控制。在这种用点光源照明(如软X射线)......
本文针对目前国内对195型柴油机缸头燃烧室內部空间几个关键尺寸尚不能测量的问题,进行了研究探索。用几件结构简单的检具结合计算......
基于大型起重机减速器中一典型部件为对象,建立三维公差模型。通过敏感度数值分析,可了解三维尺寸链中影响装配要求的关键尺寸和非......
针对传统方法在电枢设计中的局限性,以电枢发射过程中应力、温度及质量为优化目标对象,提出了一种将响应面模型与多目标遗传算法相......
当零件尺寸超差时,一般以核算强度和加工相应的配合件来解决,这对关键尺寸和重要尺寸有时是不适用的,因不能互换。用尺寸链理论,......
本文通过KS-3型水环压缩机不同叶轮和侧板的性能试验,找出了关键尺寸对性能所产生的影响,探讨了水环压缩机设计理论和设计方法。
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在GaAs功率MESFET的研制和生产过程中,为了减小器件热阻,必须减薄芯片之后再进行管芯装架。目前我们要求芯片减薄到大约100μm。 ......
目前,在VLSI圆片加工的光刻工艺中,离开步进投影曝光机就无法对镜头进行完整的评价。由投影镜头的光学成像特性,步进机照明系统,......
江西宜春学院与江西飞龙钻头制造有限公司一起研发的牙轮钻头,广泛应用于矿山、桥梁的建设中。其中一牙轮钻头的主要零件为球体,......
静态随机存储器(SRAM)是集成电路中重要的存储结构单元.由于其制备工艺复杂、关键尺寸较小、对设计规则的要求最为严格,因此SRAM的......
期刊
本文对"海洋石油201"船吊机建造质量管理和质量控制的关键流程进行了介绍,包括:材料及设备检验、焊接检验、尺寸控制、涂装检验。......
本文主要介绍了TA1铝合金罩盖压铸薄壁件在机加工中存在的典型问题,毛坯变形、关键尺寸、表面粗糙度,并进行了试验研究,加工出了合......
国际标准化组织集装箱技术委员会(ISO/TC104)第19次全会计划于1997年10月30~31日在北京国际会议中心举行。本次会议除了例行的会议议程......
乘用车进出方便性是汽车人机工程中非常重要的内容,体现了对整车空间布置、人体的进出舒适度要求。本文介绍了影响进出方便性的因......
转向机构在设计中要尽量减小机构转角与理论转角的偏差。本文在多轴车辆转向联动机构的开发中运用了田口方法,以能反映干扰影响的信......
本文介绍的是一种毫米波耦合腔行波管腔环、腔片的结构改进,与我们以前传统所设计毫米波腔环、腔片的结构有所不同,文中所设计的腔环......
本文回顾分析了本公司5000t/d新型干法熟料生产线生料立磨选用方案的确定过程,阐述了RM4800立磨的工作原理,并分析了其结构特点和工......
随着卷烟生产工艺的变化,成品烟丝出现了更复杂的配方结构,新的分组加工模式往往要求将不同的配方烟丝,经混掺组合成最终成品烟丝,......
本文设计比较了W波段折叠波导行波管的盒型窗输能装置,模拟结果表明采用窄波导窗比标准波导窗能得到更宽的带宽。窄波导窗反射系数......
国外先进技术在车身设计中合理的确定公差及设计关键尺寸控制点(RPS系统)已成为车身工程设计中的重要内容,对于确保车身品质,有效......