刻蚀速率模型相关论文
各向异性湿法刻蚀是MEMS器件加工的重要工艺,对不同微型结构制备具有不同的作用,而各向异性湿法刻蚀技术的研究特别对蓝宝石图形化......
该文应用在离子能流限制区,刻蚀速率同入射的离子能流成正比这一实验结论,提出了一个二维半导体深槽反应离子刻蚀的刻蚀速率模型.......
为了提高基于湿法刻蚀压印模板制作工艺中刻蚀图形尺寸的控制精度,研究了玻璃湿法刻蚀的反应动力学过程,得到刻蚀剂中(HF)2为决定反应......