压力敏感器相关论文
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本文研究了一种新型微机械CMOS热导压力敏感器。其压力测量范围是0.001-100Torr。整个量程范围内,多晶硅热敏电阻相对变化(即灵敏度)优於30%。为使敏感器结......
一、前言 敏感技术是近代科学技术中带有方向性的学科,它与自动化技术是一对孪生的姐妹。前一段时间,国外由于敏感技术与计算机技......