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具有聚集能力的、双层栅极场发射阵列是一种新型的高性能场发射阵列，是发展真空微电子微波、毫米波等器件的关键核心部件。但制备这......
场发射显示器(Field emission display，FED)是一种在研的新型平板显示器，因为其具有对比度高、视角宽、亮度高、功耗低、反应速度快......
1、产品及其简介rn本工艺技术平台以国际主流0.18微米CMOS工艺为目标,与世界先进的FOUNDRY工艺相匹配,并有很强的兼容性,可兼容RF ......
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本实验于原有的单底栅a-Si TFT产品结构下,通过增加不同的顶栅极设计方式（不同a-Si覆盖比例、不同沟道几何形貌、不同沟道W/L比例）来......
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