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固态射频电源相关论文
基于宽禁带半导体GaN器件的全固态射频电源研究
基于硅材料研制的功率器件受到硅材料禁带宽度的限制,其性能越来越难以满足固态射频电源高工作频率、高效率和高功率密度的要求。......
学位
固态射频电源
氮化镓器件
共源共栅
E类功率变换器
宽禁带器件
全固态高效率射频电源
射频电源作为微电子设备如刻蚀机、溅射台和PECVD等的核心部件,其性能的好坏直接关系到整个设备的性能。固态射频电源采用E类MOSFE......
期刊
固态射频电源
E类
阻抗匹配网络
等离子体
全反射
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