吸杂作用相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

吸杂作用相关论文

软损伤吸杂作用机构的分析

用透射电镜等手段观察了硅片背面原始软损伤及它在工艺热过程中的变化。分析了软损伤吸杂的作用机构：当热氧化时软损诱生热氧化层错......

会议

软损伤吸杂晶体加工硅片

P型<111>硅片多晶吸杂工艺的研究

该文阐述了ＬＰＣＶＤ生长多晶硅对于Ｐ型〈１１１〉硅片的吸杂作用，通过对多晶硅的微观机构的研究来探讨多晶硅吸杂的吸杂机理。......

会议

硅片多晶硅吸杂吸杂作用微观机构机理ＰＣ

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