多离子束相关论文
介绍了北京大学多离子束实验平台的建设及结构.该实验平台于2014年6月底建成,主要由两条夹角为20°的束线和双束共靶靶室组成,两条......
本文利用多离子束反应共溅射装置，分别在Ｓｉ和ＭｇＯ衬底上原位制备了Ｐｂ－Ｔｉ氧化物薄膜。研究表明，利用多离子束反应共溅射技术，可以显著降低薄膜后续......
