微纳米加工技术相关论文
当今世界离不开信息产业,信息产业离不开半导体集成电路芯片制造技术,即微电子技术。集成电路芯片制造工艺中最关键的就是光刻技术。......
随着近年来微纳米加工技术的发展和理论研究的深入,已经有不少的研究结果表明光子晶体纳米梁结构具有二维平板光子晶体相近的优良......
微米亚微米技术的发展使MEMS技术和纳米技术出现愈来愈多的技术交叉,微/纳米技术呈现大融合趋势。本文介绍了微纳米加工技术的......
伴随着微纳米加工技术的发展和微小零部件的应用,微小零件表面力学性能的检测与评价技术已成为微小零部件制造过程中的关键。在材......
电磁装置正从传统的大于或等于波长的尺度向亚波长尺度发展,一些现象甚至能在几十纳米的装置中实现。人们期望能够集成表面等离子......
首先介绍了微纳制造的关键工艺技术——光刻技术。回顾了光刻技术的发展历程,介绍了各阶段主流光刻技术的基本原理和特点。阐述了......
随着微纳米加工技术不断发展完善和在机械制造领域的广泛应用,微纳米加工技术作为一种最有代表性的现代机械制造技术越来越引起制......
介绍如何实现光学和电子束曝光系统之间的匹配和混合光刻的技术,包括:(1)光学曝光系统与电子束曝光系统的匹配技术;(2)投影光刻和J......
物质在纳米尺度下可能呈现出与体材料不同的物理特性,这正是纳米科技发展的基础之一.要想探索在纳米尺度下材料物理性质的变化规律......
介绍如何实现光学和电子束曝光系统之间的匹配和混合光刻的技术,包括:(1)光学曝光系统与电子束曝光系统的匹配技术;(2)投影光刻和J......
微纳米加工技术作为一种典型的先进制造技术,其制造精度可达到纳米级别,在小型甚至微型元器件、微型芯片及生物传感器的制造、批量......
物质在纳米尺度下可能呈现出与体材料不同的物理特件,这正是纳米科技发展的基础之一。要想探索在纳米尺度下材料物埋性质的变化规律......
热光伏(Thermophotovoltaic)发电技术是一项将热源产生的辐射能通过热光伏电池的光电效应转换成电能的技术。该技术拥有较高的能量......
<正>微纳结构化材料是指在功能材料中引入微纳米尺度结构,以提升功能材料性能和拓展其新功能.功能结构的微纳米化不仅意味着能源与......
以折叠式手机的商业化为标志,2019年被称为柔性电子"元年"。但除了成就折叠手机的柔性显示外,更广义的柔性电子产品并没有大量出现......
本论文以PS/PMMA共混聚合物薄膜为实验系统,研究薄膜在图案化衬底上退火形成规则微结构阵列的物理机制和调控方法,并以此为基础,发......
20世纪,航天技术得到了长足的发展,取得了一系列举世瞩目的成就。21世纪,将是航天技术进一步迈向辉煌的时代,无疑也将是中国航天技......
纳米技术是一项有望为 2 1世纪人类生活的各个方面带来革命的技术。纳米技术不是在一夜之间产生出来的 ;它是在业已发展多年的、为......
介绍了采用微纳米加工技术制作仿壁虎脚趾粘附阵列的工艺方法。用ICP设备制作具有微米孔阵列的硅模板,用聚合物浇注,脱模后得到直......
介绍了微电子技术的关键工艺技术——微光刻与微/纳米加工技术,回顾了中国制版光刻与微/纳米加工技术的发展历程与现状,讨论了微光......
2012年10月9日,苏州纳格光电科技有限公司申请的发明专利——“图形化柔性透明导电膜及其制法”获得授权(ZL20111005843LX)。董事长崔......
微纳米技术是近年来发展起来的一门新型的交叉学科,微纳米加工技术作为其中的一个重要基础,已经被广泛地应用于各个科研领域。传统......