深槽结构相关论文
本文对各种参数的深槽结构肖特基势垒二极管的反向I-V特性进行了计算机模拟,得出了优化的深槽结构.模拟结果显示,深槽结构能够大大......
采用15nmNi/1.5nmPt/15nmNi/Si结构在600~800℃范围内经RTP退火的方法形成低电阻的Ni(Pt)Si薄膜,比NiSi薄膜的温度窗口提高了150℃......
本文报道了用ICP技术刻蚀出窄深槽结构.槽宽1～2.5μm,槽深7～25μm,刻蚀速率2μm/min,陡直度89度.该结构可以应用到MEMS和IC的隔离中.......
该论文以研制一种新型结构的肖特基二极管,即深槽镍硅化物/硅肖特基二极管为内容,重点研究了提高镍硅化物的热稳定性和提高肖特基......
提出了一种新型结构的静电感应器件，设计了一道环绕的深槽，用以切断寄生效应静电感应器件的寄生效应会导致器件性能的劣化甚至失效，文......
某重型车辆深槽轮辋（22.5×9.00）原采用Q235钢材通过焊接组装而成，但该轮辋重量大、车辆机动性差，油耗随之升高。在能源日趋枯竭、国家......
