本文主要论述了采用弧光放电(Arc Discharge)和直流空心阴极放电(DC Hollow Cathode Discharge)两种方法来制备纳米陶瓷氮化碳薄膜......

利用空心阴极放电等离子体源在Si(100)衬底上沉积了氮化碳薄膜. 用XRD,SEM,XPS及拉曼和红外吸收光谱对薄膜的结构、成分和化学键等......

利用空心阴极放电等离子体源在Si(100)单晶衬底上沉积了氮化碳薄膜.薄膜的表面形貌表明所得的薄膜非常的均匀光滑.用X光电子能谱、......