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真空磁过滤弧沉积(FAD)的方法制备的类金刚石(DLC)薄膜具有良好的场发射性能.通过离子束技术和微细加工技术可以实现DLC薄膜的图形......
该文研究了真空磁过滤弧沉积方法制备的非晶金石薄膜 (a-DF)的电子场发射性能 ,SP2 键含量不同的薄膜的场发射性能有很大的差异 ,S......
该文利用真空磁过滤弧沉积技术在Ｓｉ（１１１）、石英及Ｔｉ／Ｃ衬底上制备得到碳氮（ＣＮ〈，Ｘ〉薄膜。采用卢瑟福背散射对薄膜进行成分及面密度分析。通过紫外－可......
类金刚石薄膜有着与金刚石薄膜相近的优异性能,且其制备条件相对而言比较温和,因此其制备工艺的发展一直得到广大研究者的关注。在......
