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该文利用真空磁过滤弧沉积技术在Ｓｉ（１１１）、石英及Ｔｉ／Ｃ衬底上制备得到碳氮（ＣＮ〈，Ｘ〉薄膜。采用卢瑟福背散射对薄膜进行成分及面密度分析。通过紫外－可见透射光谱与红外反射光谱研究了薄膜的光学性能。结果表明：随着薄膜中氮含量的增加，碳氮薄膜的光学禁带宽度减小，红外反射率增加，另 不同氮含量时氮原子对薄膜结构的影响进行了研究。