精密运动平台相关论文
晶圆级倒装装备作为一种用于晶圆级倒装芯片焊接的先进封装设备,需达到高精度、高产能的封装要求,而高性能的运动控制系统是其完成......
随着芯片体积越来越小,焊点间的距离日益缩短,这对芯片封装设备中运动平台的定位精度、鲁棒性等运动性能提出了更高的标准。然而,......
第三代DNA测序仪的基础设备是拥有纳米级通道的纳流体器件。本课题在国家自然科学基金及国家重点基础研究发展计划项目(973计划)支......
直线超声电机直接驱动的精密运动台可以很好地兼顾大行程和高精度的特点,且结构简单、易于控制.为了进一步提高这种平台的定位精度......
随着集成电路IC(IntegratedCircuit)集成度的提高，芯片加工工艺日趋繁难，以及人们对集成电路品质的越来越重视，再加上技术、成本和知......
课题来源于国家重点基础研究发展计划项目(973计划)(2011CB707602)；NSFC-广东联合基金重点项目(U0934004)；国家自然科学基金项目(509......
精密运动平台被广泛应用于IC制造装备、精密测量和精密机械加工等领域。气浮支承刚度非线性、电机驱动推力波动及隔振系统振动衰减......
随着液晶显示技术的飞速发展，人们对液晶显示品质的要求越来越高，ITO图形短路检查仪作为检查玻璃上所镀ITO膜电路短路的设备，对LCD生......
精密运动控制技术在超精密机床、精密医疗器械、精密测量仪器中应用广泛。为了提高系统的运动精度,本文主要以滚珠丝杠驱动的精密......
精密运动平台控制策略对于提高运动平台的定位精度、动态性能至关重要。随着精密运动平台精度和运行速度的不断提高,对其控制策略......
芯片以极快的速度向着尺寸小,管脚多,数量大的方向发展,引线键合机是芯片加工流水线中的封装设备,为配合芯片的发展,下一代封装设......
随着精密加工、微型加工、生物细胞操纵技术、精密测量、微型装配、半导体光刻、大规模集成电路的生产和纳米技术的不断发展，目前对......
提出了一种摩擦补偿脉冲特征参数的自适应配置方法.依据运动轨迹参数、摩擦力矩、摩擦补偿效果最优值、相关动态特性信息以及伺服......
为实现一种直流电机驱动的亚微米级运动平台的设计,并尽量减小其运动误差,采用 Simulink-M 文件混合仿真的方法,结合 Stribeck 摩......
针对超精密运动平台部件中部分材料精确参数未知、粘结层准确模拟困难导致动力学建模精度相对较低的问题,提出一种基于参数灵敏度......
为了降低偏心驱动对气浮支承精密运动平台的精度和稳定性的影响,建立了偏心驱动下运动平台的理论分析模型.采用无量纲的偏心率表征......
精密运动硬件在环仿真与测试平台是一种虚拟的实时仿真测试平台,它不仅应用在精密驱动与定位技术行业,而且在超精密加工、精密测量......
在阵列光纤与波导芯片的对准过程中,多自由度精密运动平台的运动精度直接影响其耦合效率。针对此问题,运用多体动力学理论,通过分......
机电联合仿真软件是一款面向精密运动平台结构详细方案设计的集成设计软件。该软件封装集成了精密运动平台关键组件、系统模型知识......
针对专用密封圈及其模具型腔参数进行高效检测的问题，对密封圈及其模具特征、检测干扰因素、误差计算模型方面进行了研究，对密封圈及......
针对基于直线电机的精密运动平台轨迹跟踪控制问题，基于零相位误差跟踪控制器(ZPETC)和干扰观测器(DOB)提出了一种跟踪控制方法，以提......
提出了一种利用双压电晶片驱动小型平台的研究方案，该平台可实现水平面内的两自由度精密运动。在对粘滑型运动机构的工作原理进行分......
参考有限元分析结果，建立了精密运动平台结构的多刚体离散元模型，依据模态实验结果进行模型验证和修正，利用所建模型分析直线非质心驱......
大行程纳米级定位技术是纳米测量和制造中的关键技术,在半导体制造和器件检测装备以及工厂自动化中有着广泛的应用。针对压电陶瓷......
随着现代制造技术的飞速发展,对精密运动平台的精度性能要求越来越高.通过对机架结构和驱动方式的对比分析,以及对滚动导轨和滚珠......
期刊
光刻机是一个涉及精密机械、精密控制、精密测量等多学科的机电一体化的高端精密制造装备，其发展受到光学性能、电机性能、测量分辨......
精密运动平台是IC制造装备的核心部件,减振系统作为精密运动平台的一个不可或缺的组成部分,为平台的平稳运行提供超静环境保障,因......
可变狭缝系统作为扫描光刻机重要的分系统,在曝光等工作过程中起到了十分重要的作用。可变狭缝系统的核心部件为可变狭缝精密运动......
文中主要介绍了一个能用于IC测试设备的高速高精度的精密运动平台。该平台是芯片测试设备——全自动探针台关键部件,它可以实现X、......
研制的精密运动平台同时具有死区与迟滞的特性，普通的辨识算法难以有效处理。本文设计了一种具有特殊激励函数和结构的神经网络，可以......
从运动平台空间运动可能存在的720种运动顺序配置入手,针对智能芯片与阵列光纤对接过程各运动单元产生的几何误差进行敏感性分析,......
为提高精密运动平台运动精度及分辨率,并降低传动过程中的间隙影响,创新性地提出了一种基于行星摩擦轮-滚珠丝杠的传动结构,并结合......
针对大距离孔系同轴度测量装置精度校准的问题,对同轴度误差来源、多孔系工件同轴度测量方法、误差计算模型方面进行了研究,对孔系......
