纳机电系统相关论文
为研究纳米梁的力学特性,采用SOI晶圆制备了硅双端固支梁纳米梁,利用典型的原子力显微镜(AFM)弯曲测试方法测试了硅纳米梁〈100〉......
目前,水污染已经成为亟待解决的全球性问题,尤其是水中重金属离子造成的污染已对人体健康及全球环境构成严重的威胁,因此对水环境......
随着微电子加工技术以及纳米加工技术的进步,人们已经能够很容易制造出纳米梁和纳米线。纳米梁是纳机电系统用于痕量检测、超快传......
充流碳纳米管的动力学行为研究在微/纳机电系统领域的研究中具有重要的意义。本文利用多重耦合壳模型研究内外均有沾湿的单壁......
对于静电驱动的亚微米及纳米尺度的谐振器,衍射效应将会使其驱动及振动频率的光学检测变得更加困难,为克服衍射效应的影响,设计、......
近年来，因纳米技术的快速发展以及其在众多领域的广阔应用前景，使纳米级材料和结构的研究受到了众多研究者的持续关注。精密和超精密......
目前,对微机电系统制造技术的研究已较为完善,而对纳机电系统加工机理的研究仍存在大量空白。纳米尺度下的尺寸效应、表面效应使纳......
本论文对硕士期间从事的理论研究和实践工作进行了总结。首先对目前较有前途的NEMS加工工艺进行了研究和分类，分别介绍了极紫外射线......
硅微加工技术的进步,使得纳机电系统(NEMS)的实现成为可能。随着器件尺寸的缩小,纳米器件的比表面积增加。纳米材料表面吸附分子或......
随着分子束外延(MBE)技术和纳机电系统加工技术的快速发展,各种新型的超晶格量子阱器件被加工出来。因尺度变小而产生的各种效应(......
NEMS（Nano Electro Mechanical System）纳机电系统，是基于MEMS技术而提出的一个新概念，其特征尺寸在几纳米到几百纳米，以机电结合为主要......
纳机电系统（NEMS）器件具有高达GHz的谐振频率、105的品质因数、10-24牛顿的超高力灵敏度、10-17瓦的超低功率等特性，故NEMS纳米梁在谐......
随着微电子加工工艺和纳米技术的进步,NEMS得到了快速的发展,人们已经能够比较容易地制造出纳米量级的简单NEMS结构和器件。作为NE......
纳机电系统（NEMS）在基础研究及应用方面越来越受到人们的重视。高频NEMS谐振器为典型NEMS器件，具有超小的质量和超高的品质因子，在质量......
纳机电系统（NEMS）器件具有高达GHz的谐振频率、105的品质因数、10-22g的超高质量分辨率、15 Hz/zg（1zg=10-21g）的超高的质量灵敏度、lO......
NEMS（Nano Electro Mechanical System）纳机电系统，是基于MEMS技术而提出的一个新概念，其特征尺寸在几纳米到几百纳米，以机电结合为主要......
纳机电系统是继微机电系统之后在系统特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体系统,一般指特征尺寸在亚纳米到数百......
纳机电系统是一项被认为面向21世纪可以得到广泛应用的高新技术产业，在国防军工、航空航天、医疗工程等领域具有潜在应用，倍受各国政......
微机械系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)现已成为微电子技术的主要发展方向，各国都已投入资金展开研究，并在相关领域获......
研究限制在电极间并能做自由往复运动的微米尺度金属球的电荷穿梭特性,作为进一步研究纳米机电式穿梭器件的模型器件。通过测量不......
在中国古代的道家典籍《庄子》里,有一则颇值得玩味的故事:蜗牛的两根触角上,各有一个小国家.它们常年征战不休,仿佛两根蜗牛触角......
采用数值计算方法研究了基于石墨的纳机电系统在周期性简谐驱动力作用下实现稳定振动的条件．确定了获得持久稳定的振动的系统和控制......
对于静电驱动的亚微米及纳米尺度的谐振器,衍射效应将会使其驱动及振动频率的光学检测变得更加困难,为克服衍射效应的影响,设计、......
利用聚焦离子束（focused-ion-beam，FIB）刻蚀在纳米厚的单晶硅悬臂梁表面来制备三维纳米螺旋．单端固支的悬臂梁在FIB刻蚀引入的应力下卷......
给出了纳机电探针阵列与压阻式传感器集成一维阵列器件结构及工作原理;通过理论计算得到该结构的一些主要的特性参数,计算结果与AN......
碳纳米管研究的不断发展为其与微机电系统(MEMS)的结合提供了可能,这种结合"Top-down"与"Bottom-up"的方法是微米/纳米技术的一个......
针对纳米振动测量方法中存在的间接性、低分辨率、低带宽等局限性,建立了原子力显微镜（AFM）的轻敲模式下探针与振动样品间相互作用的......
<正> We propose and study a spin-orbit interaction based mechanism to actively cool down the torsional vibrationof a nan......
当达到纳米数量级，光在两个非常接近（有时可达到10nm，比光的波长都要小）的表面之间辐射光子会产生能量，在光波长被中断时，光的特性会发生......
首先引进纳机电系统的物理模型,即自旋-玻色子模型的单模情况。对模型进行严格数值解和绝热近似解,通过两种解法结果的比较,从而确......
在微机电系统(MEMS)领域,自1989年Tang等人首次提出横向多晶硅谐振器结构以来,有关谐振器振动过程中阻尼问题的研究一直就是影响和......
提出了一种双层同轴圆柱管振动的力学模型，并用连续介质力学的方法分析了该模型分别在Casimir力和静电力驱动下的振动特性．计算结果......
纳电子技术涉及许多专门领域,是一门高度交叉的学科.本文把注意力集中在硅纳电子技术、111-V族化合物半导体纳电子技术、碳纳管电......
根据Langmuir的单层吸附理论分析了梁对气体的动态吸附,考虑了在气体自由程和梁的尺寸可比拟时的气体阻力作用,并在此基础上对原有......
随着纳机电系统(NEMS)的出现和发展,一维纳米材料力学性能的研究显得日益迫切和重要.弹性模量是表征材料力学性能最重要的指标之一......
阐述了基于原子力显微镜（AFM）的弯曲测试测量纳米梁杨氏模量的理论和方法.重点解决了纳米梁杨氏模量测试技术中的3个关键问题：①宽梁......
根据能量法,提出了一种用于分析硅纳米梁静态弯曲的多尺度模型，与传统的连续介质模型相比,该模型考虑了梁厚度方向进入纳米尺度所带......
Size-dependent electromechanical properties in piezoelectric superlattices due to flexoelectric effe
Piezoelectric superlattice is a potential component for nanoelectromechanical systems.Due to the strong nonlocal effect ......
据美国每日科学网报道，美国加州大学伯克利分校和伯克利突验室的研究人员通过打造世界首个全功能性的纳米管装置，成功建造了一个可以......
本文介绍了纳机电系统(NEMS)的研究进展.首先介绍了美国与欧洲在NEMS军用和航空航天领域的研究目标和进展,接着介绍了一些典型NEMS......
本文阐述了基于原子力显微镜（AFM）的弯曲测试测量纳米梁厚度的理论和方法,并界定了基于AFM的厚度测量方法的适用条件,对基于AFM的厚......
采用数值方法研究了基于双壁碳纳米管的纳机电系统在周期性简谐驱动力作用下实现稳定振动的条件。确定了获得持久稳定的振动的系统......
当前的小型天线依赖于电磁波的谐振,因此天线的尺寸与电磁波波长相关。典型的天线尺寸大于波长的1/10,而进一步缩小天线尺寸在近十......
为研究纳米梁的力学特性,采用SOI晶圆制备了硅双端固支梁纳米梁,利用典型的原子力显微镜（AFM）弯曲测试方法测试了硅纳米梁〈100〉晶......
当MEMS谐振梁的尺寸进一步缩小到nm量级时，实验表明在外部激励的作用下，器件运动状态更容易从线性区进入到非线性区。考虑纳米梁的轴......
简要介绍了几种对纳米谐振梁的能量耗散有显著影响的阻尼机制，以及相关的研究结果。随后，给出了与纳米梁相关的几种振动理论，并分别用......
纳米梁谐振器是一种重要的NEMS器件,在射频和传感等领域具有广阔的应用前景。纳米梁谐振器的机械力学特性测试技术和动态特性测试......
