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通孔自热相关论文
通孔对金属连线温度分布的影响
详细讨论了考虑通孔自热的金属连线温度分布模型,并通过该模型,计算了不同通孔直径和高度情况下,单一及并行金属连线的温度分布。计算......
期刊
集成电路
通孔
金属连线
温度分布模型
通孔自热
通孔直径
通孔高度
Integrated circuit
Via
Metal wire
Via self
考虑通孔自热的集成电路中互连系统的热效应研究
随着硅高性能微处理器、数字信号处理芯片以及专用集成电路对速度和功能要求的日益增强,集成电路中金属互连系统的尺寸急剧减小,金属......
学位
通孔
金属连线
通孔自热
热耦合
内层介电材料
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