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本文采用二维面探测器XRD测量1um及0.5um厚AL互连线退火前后的残余应力.沉积态AL线均为拉应力,且随膜厚的增加而减小.沿长度方向的......
本文通过对荣华二采区10...
本论文主要研究了VLSI中微米特征尺寸Al互连线的应力和微结构,及其对与电徙动中值失效寿命(MTF)的影响。 本项研究采用原子力显......
本论文主要研究了VLSI中微米特征尺寸Al互连线在电热条件、互连线制备和随后的热循环过程中的应力分布;得出了互连线应力状态随电流......
对有钝化层与无钝化层的铝互连线的热应力进行了数值模拟,并建立起互连线的二维有限元模型。对无钝化的铝互连线,只考虑弹性行为,......
对有钝化层与无钝化层的铝互连线的热应力进行了数值模拟,并建立起互连线的二维有限元模型.对无钝化的铝互连线,只考虑弹性行为,其......