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为有效利用半导体晶圆蚀刻系统,根据蚀刻系统的特点,进行了实时调度问题域的描述,提出了基于驻留约束的实时调度算法.在此基础上,......
针对带缓冲与驻留约束的集束型设备调度问题,本文提出了一种基于分枝的搜索调度方法.首先,构造问题域的数学模型,在此基础上提出了......
为提高集束型设备群的生产效率，在考虑加工不同种类晶圆条件下，研究带驻留约束的双臂集束型设备群的建模与调度问题．提出虚拟缓冲模块......
根据集束型设备群的特点，对调度问题域进行描述，并提出了带驻留约束的双臂集束型设备群调度算法．该算法利用分解方法将集柬型设备群分......
为了有效解决机器人制造单元中考虑机器人约束加工（Robot Restricted Processing,RRP）的调度问题,提出了基于时间约束集的调度策略.......
为了有效解决双臂集束型设备调度过程中的驻留约束和重入问题,采用虚拟化方法将双臂机械手转化为一个单臂机械手和一个虚拟缓冲模......
为有效解决集束型设备群多品种晶圆调度问题,构建考虑多晶圆流集束型设备群调度算法.统筹考虑多晶圆流、驻留和资源约束等特征,并......
随着300mm晶圆的加工技术问世，工业界开始采用一种全新的晶圆制造设备一集束型设备群（Multi-cluster tools）。对于单个集束型设备（Sing......
为了有效地解决多机械手制造单元适应带驻留约束的多品种调度问题，提出了基于瓶颈的推拉式算法．首先，进行了调度问题域的描述，以最小Ma......
