高k绝缘层相关论文
介绍了ITRS2003对高k绝缘层材料的要求、高k绝缘层材料必须满足的要求、高k绝缘材料(尤其是HfSiON材料)研究成果以及研究中存在的......
300 mm晶圆生产线必须采用新标准、新技术、新流程、新设备、新布局、新厂房和新设施等.因此,300mm晶圆向半导体设备提出了挑战.......
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