切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
高K绝缘层研究动态
高K绝缘层研究动态
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sisu16113
【摘 要】
:
介绍了ITRS2003对高k绝缘层材料的要求、高k绝缘层材料必须满足的要求、高k绝缘材料(尤其是HfSiON材料)研究成果以及研究中存在的问题.
【作 者】
:
翁寿松
【机 构】
:
无锡市罗特电子有限公司
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2005年5期
【关键词】
:
高k绝缘层
栅结构
栅介质
HfSiON薄膜
high-k insulating layergate structuregate dielectricHfSiO
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
介绍了ITRS2003对高k绝缘层材料的要求、高k绝缘层材料必须满足的要求、高k绝缘材料(尤其是HfSiON材料)研究成果以及研究中存在的问题.
其他文献
斯坦福大学设计出捕捉纳米粒子的DNA分子陷阱
溶液中的微粒由于受到周围液体分子的胡乱冲撞而使科研人员对它们的观察变得非常困难。目前,科学家采用激光手段(如“光镊”)控制这些粒子,但必须将小于200nm的分子附着在更大
期刊
DNA分子
斯坦福大学
纳米粒子
陷阱
捕捉
设计
科研人员
液体分子
科学家
微粒
光镊
基于ontology智能检索系统的底层数据结构设计
本文提出了构建基于ontology检索系统的底层数据结构应具有面向对象的特性,同时也提出了数据结构设计中会出现的问题和解决办法.
期刊
ONTOLOGY
本体论
人工智能
智能检索系统
底层数据结构
面向对象
数据库
罗门哈斯电子材料公司与道康宁宣布合作开发旋涂式硅硬膜技术
罗门哈斯电子材料公司微电子技术事业部与道康宁公司日前宣布延展双方的共同开发协议,针对65nm以下的快闪DRAM和逻辑元件合作开发创新的旋涂式硅硬膜抗反射涂层产品。这项合作
期刊
道康宁公司
合作开发
硬膜技术
电子材料
旋涂
硅
DRAM
微电子技术
基于用户兴趣模型的智能信息检索系统技术与实现
PCSICE是一个面向Internet的智能信息检索系统.该系统采用分布式智能体技术、用户兴趣学习算法和基于使用的聚类算法,有效地解决了现有系统在交互方式、自适应用户兴趣等方面
期刊
因特网
用户兴趣模型
智能信息检索系统
聚类算法
Toppan Photomasks荣获华润上华颁发的“十大最佳供应商奖”
2008年3月18日,Toppan Photomasks股份有限公司宣布,其荣获晶圆制造商华润上华科技有限公司(CSMC)颁发的2007年度“十大最佳供应商奖”,这是领先的中国模拟芯片代工厂商第一次授予
期刊
供应商
模拟芯片
经营业绩
制造商
光掩模
晶圆
供给侧结构性改革为什么是必由之路?——中国式产能过剩的经济学解释
本文跳出市场和政府之争,在传统供需平衡模型中引入退出价格和饱和需求等新假设,通过消费结构和住房属性的异质性处理、二元市场的均衡分析,为供给侧结构性改革提供中国特色
期刊
中国式产能过剩
供给侧结构性改革
退出价格
饱和需求
重点行业去杠杆攻坚大幕开启钢铁煤炭打头阵
我国已拉开去杠杆攻坚战大幕。对重点行业,要在控制总杠杆率的前提下,把降低企业杠杆率作为重中之重。据相关部门负责人介绍,3月上旬开始,监管部门与金融机构已开始组织专家学者
期刊
重点行业
杠杆率
煤炭
钢铁
部门负责人
专业培训
政策解读
专家学者
数字化转型时代下企业涉税风险应对之道
近两年,伴随全国首个统一的国地税征管应用系统——金税三期的上线和推广,以往各省各自为政的税务管理局面一去不返,国家对所有纳税人信息的监管告别了零散、滞后的旧时代,进
期刊
风险应对
转型时代
涉税
企业
数字化
应用系统
行为管理
交叉管理
周小川:十五字方针定调2016年货币政策
日前,央行行长周小川在新年致辞中以十五字方针为2016年货币政策明确了方向,即统筹"稳增长、促改革、调结构、惠民生、防风险",继续实施稳健的货币政策,保持流动性合理充裕,加
期刊
货币政策
货币信贷
风险监测
防范化解
职业经理人
金融风险
社会融资
光大银行
侯为贵
国家外汇管理局
新型含1,3,4-噻二唑的硫色满酮衍生物的合成及其抗真菌活性
以取代苯硫酚和顺丁烯二酸酐为原料,经迈克尔加成反应制得2-羧基-硫色满酮衍生物(2a-2d);2a-2d分别与氨基硫脲反应制得2-(5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-基)硫色满-4-酮衍生物(3a-3d);3a-3
期刊
硫色满酮
1
3
4-噻二唑
合成
抗真菌活性
与本文相关的学术论文