用真空磁控溅射技术，在Q235钢的基底上沉积（Zr，Ti）N复合镀层，改变溅射工艺参数（温度、Ar／N2流量比、基体偏压）制成8个镀层耐蚀性对比试样，用......

采用射频磁控反应溅射在单晶Si（100）上沉积了一系列不同Al含量的（Zr,Al）N薄膜,利用能谱仪（EDS）、X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）和微力学探......

（Zr,Sn）TiO4系微波介质陶瓷因具有适中的介电常数εr,较高的品质因数Q和近零的谐振频率温度系数τf，被广泛的用于制造谐振器、滤波器......