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该论文系统研究了多弧离子镀(TiAl)N超硬膜的沉积技术以及摩擦磨损性能.采用多弧离子镀设备,通过优化工艺参数,在高速钢基体上沉积......
用多弧离子镀方法在高速钢的基体上沉积了不同钛铝比例的氮化钛铝薄膜,研究了不同铝含量对薄膜性能的影响,采SEM、XRD、AES、表面......
主要介绍了采用多弧物理气相沉积(PVD)技术研制新型(TiAl)N超硬膜的工艺技术特点。对其膜层相结构,化学成分,显微组织等方面做了分析研究。结合工......