超硬膜相关论文
利用高功率磁控溅射(HPPMS)技术在无偏压及室温条件下,采用(Ti,Si10at%)靶在AZ31镁合金基体上制备了Ti-Si-N涂层,在基体与涂层之间......
本文用钛-硅复合靶，通过控制反应磁控溅射的各工艺参数制得了一系列Ti-Si-N膜，并借助能谱仪(EDS)、X射线衍射(XRD)，纳米压入仪和划痕......
该文介绍激光在材料表面诱发的激波的产生和传播规律，发现激波存在着使表层组织致密的作用。介绍激光气体合金化和激光烧蚀沉积制备......
CN晶体是理论预言的硬度比金刚石更高的材料,对其研究具有重要的理论意义和应用价值.该文针以目前CN研究过程中存在的主要问题,分......
本文对氮化碳的结构及制备工艺如溅射、化学气相沉积、离子束辅助沉积、激光烧蚀等作了较为详细的总结与分析，对各种制备工艺条件下......
就Ｃ对ＴｉＣＮ系膜层的硬度，对磨性，与Ｆｅ基材料的磨擦系数和粘附倾向的影响进行了试验研究。借助于ＳＥＭＡＥＳ，ＸＲＤ，ＷＤＳ等手段，对Ｃ在ＴｉＣＮ系膜层的行为，作用进行了初步探讨。......
研究了真空阴极电弧法沉积 TiN 超硬膜的工艺和应用.结果表明,氮气分压强和负偏压对膜层的结构和性能有很大影响,在氮气分压强为1.......
<正> 1.前言首先对本文使用的“超硬膜”的定义说明一下。笔者在这里考虑的超硬质膜是比现在广泛用于涂覆刀具的 TiN 硬质膜(TiN ......
本文简要介绍了等离子体化学气相沉积的基本原理和几种主要类型的工艺特点，着重介绍了等离子体化学气相沉积在沉积超硬膜方面的新进......
主要介绍了采用多弧物理气相沉积（ＰＶＤ）技术研制新型（ＴｉＡｌ）Ｎ超硬膜的工艺技术特点。对其膜层相结构，化学成分，显微组织等方面做了分析研究。结合工......
本文对氮化碳的结构及制备工艺如溅射，化学气相沉积，离子束辅助沉积，激光烧蚀等作了较为详细的总结与分析，对各种制备工艺条件下的氮化......
本文简要总结了近年来超硬膜研究领域中的一些最新进展，包括超硬膜硬度的理论研究和轻元素组成的超硬膜、纳米复合膜、纳米多层膜以......
在参考他人最近十几年研究的基础上，总结了降低超硬类金刚石薄膜内应力的几种方法，包括热退火、掺杂、加脉冲偏压、沉积多层膜等。退......
