193nm光学光刻相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

193nm光学光刻相关论文

侧墙铬衰减型新结构移相掩模的应用

提出了一种全新的移相掩模--侧墙铬衰减型移相掩模(SCAPSM),相对于通常的衰减型移相掩模,其制造工艺仅多两步,却可以较大幅度提高......

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193nm光学光刻衰减型移相掩模离轴照明数值孔径 PROLITH

下一代光学掩模制造技术

尽管其它光刻技术在不断快速发展，然而在０．１３μｍ及０．１３μｍ以下集成电路制造水平上，光学光刻仍然具有强大的生命力。随着光学光刻极限分辨率的不......

期刊

193nm光学光刻 157nm光学光刻光学邻近效应移相掩模

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