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摘要:Interbay物料自动搬运系统的运行效率对于晶圆制造系统影响较大,研究Interbay物料自动搬运系统的绩效具有较大的意义[1]。该文......
ASYST近13宣布推出Agile Automation,这是一种在半导体晶圆厂新的自动化物料处理(Automated Material Handling)方式。Agile Automati......
本文从真实案例出发,对现有AFTN 转报系统短版进行分析,并对 AMHS进行介绍,并对其优势进行阐述。从现状来看国内范围内用 AMHS 替......
Real-time OHT Dispatching Mechanism for the Interbay Automated Material Handling System with Shortcu
同样改进 interbay 的性能的一把钥匙自动化了在 300 处理系统(AMHS ) 的材料 ? 公里半导体晶片制造系统,即时开销升起派遣问题的运......
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