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AlSiC肖特基垫垒二极管
报道了用热蒸发A1作肖特基接触在SiC材料上制作肖特基二极管的工艺过程和器件特性。采用射频溅射法在Si(111)衬底上生长SiC薄膜。I......
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AlSiC肖特基垫垒二极管
二极管
碳化硅
肖特基垫垒
diode silicon carbide Schottky barrier
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