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Al_2O_3膜相关论文
低温等离子复合技术淀积Al_2O_3膜的性能及应用
利用低温等离子复合技术在坡莫合金等软磁材料表面淀积A12O3膜,对其性能进行测试,并研究了在磁头芯片表面形成优良的绝缘膜的应用情况。 ......
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用双面氧化弯曲方法测定Al_2O_3膜生长应力
提出了一种测定氧化膜生长应力的双面氧化弯曲方法,它不象常规弯曲法那样为防止试样一个侧面发生氧化需镀制保护涂层,因而可用于较高......
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