本文总结了关于Ｔｉ（１－ｘ）ＡｌｘＮ薄层的微结构特征和氧化行为的最新研究成果。Ｔｉ（１－ｘ）ＡｌｘＮ薄层含有３个不同的相区：ｘ值较小时，其微结构为立方晶系；ｘ值较大时，其微结构为......