C-Mag 相关硕士博士期刊学术论文

该文介绍了旋转磁控溅身和电弧离子镀技术的最新进展。论述了旋转圆柱磁控溅射靶Ｃ－Ｍａｇ、孪生磁控溅射靶Ｔｗｉｎ－Ｍａｇ和旋转磁控柱状弧的特性及其应用......