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本文采用MPCVD (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition)方法,在硅衬底上沉积多晶金刚石薄膜,通过优化生长条件,成功的制备......
本文采用MPCVD(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition)方法,制备多晶金刚石膜和单晶金刚石。在硅衬底上沉积高质量的自支撑......