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光学级多晶金刚石薄膜相关论文
MPCVD法制备光学级多晶金刚石膜及同质外延金刚石单晶
本文采用MPCVD (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition)方法,在硅衬底上沉积多晶金刚石薄膜,通过优化生长条件,成功的制备......
学位
MPCVD方法
光学级多晶金刚石薄膜
同质外延
CVD单晶金刚石
高速生长
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