CoTaZr薄膜相关论文
Co基薄膜材料具有良好的磁性能、电性能,常被用于磁记录材料或用作微磁器件中。目前人们研究薄膜电感主要从两方面入手,一方面是设......
通过不同温度的热处理来改变磁控溅射法沉积的CoTaZr薄膜的组织结构，研究了热处理温度对薄膜微观结构及磁电性能的影响，并将这些薄膜......
室温下采用直流磁控溅射法在玻璃基片上沉积CoTaZr薄膜。利用EDS、SEM、XRD等方法研究溅射气压、功率对CoTaZr薄膜成分、生长形貌......
