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Cu-In双层膜相关论文
溅射Cu/In叠层预置膜再硒化法制备CuInSe_2薄膜
采用Cu、In双靶,低功率直流磁控溅射的方法沉积Cu-In双层预置膜,然后采用固态源硒化法生成CuInSe2(CIS)薄膜。采用SEM和EDX观察和分析......
期刊
磁控溅射
Cu-In双层膜
溅射顺序
CIS膜
co-sputtering Cu-In double-layer films sputtering sequen
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