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双层多晶硅自对准双极和BiCMOS工艺研究
多晶硅发射极的使用不仅增大了双极晶体管的直流增益,而且为双层多晶硅自对准(DPSA)结构的实现提供了可能,DPSA结构能减小Bipolar......
学位
多晶硅发射极
双层多晶硅自对准
DPSA结构
BiCMOS工艺
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