圆形硅膜相关论文
研究了（100）单晶硅在EPW腐蚀液中制作近似圆形硅膜，在EPW腐蚀液中因（100）单晶硅腐蚀速率各向异性，在圆形掩膜下很难实现圆形单晶硅膜．基于......
由于单晶硅在碱性腐蚀液中的腐蚀速率呈各向异性,在圆形掩膜下很难实现圆形单晶硅膜的制作.利用添加剂异丙醇（IPA）来改善KOH的腐蚀特......
