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ECR—PECVD制备SiO2薄膜中衬底射频偏压的作用
采用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)技术在单晶衬底上制备了SiO2薄膜,研究了射频偏压对薄膜特性的影响。通过......
期刊
电子回旋共振等离子体
SIO2薄膜
射频偏压
ECR-PECVD
二氧化硅薄膜
离子轰击能量
成膜特性
Electroncyclotronresonancepl
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