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Fe-O纳米晶合金膜的软磁和高频特性(英文)
采用等离子体增强射频磁控溅射沉积方法,在室温下制备了Fe-O合金薄膜。研究了氧的掺杂量和薄膜厚度对薄膜软磁和高频特性的影响。......
期刊
Fe-O
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高频特性
合金薄膜
等离子体增强
相对流量比
饱和磁化强度
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