Gd2O3薄膜相关论文
Gd2O3和Nd2O3纳米薄膜在可能是半导体集成电路中较好的介电材料,因而受到人们的广泛关注。本文先推导了一种以快速确定薄膜制备基......
是的 Gd2O3 薄电影高 -- 门电介质被磁控管在 1.3 Pa 和不同温度的一个压力劈啪作响在 Si (001 ) 底层上直接扔。X 光检查衍射结果......
采用脉冲激光沉积方法(PLD)在不同温度的Si(100)衬底上制备了Gd2O3栅介质薄膜,利用X射线衍射、X射线反射率以及光电子能谱等方法对它的......
离子电子学主要通过离子的迁移和重排来实现材料的电学性质及其功能化,从而在信息存储、神经突触模拟与仿生和智能显示等诸多领域......
使用射频磁控溅射法在n型Si(001)基片上生长了Gd2O3薄膜。X射线衍射扫描研究和高分辨透射电子显微镜观察表明,薄膜由立方相和单斜相......
本论文主要介绍了高K栅介质Gd2O3薄膜的生长以及表征,其次还对国家同步辐射实验室的红外与远红外实验站的线站改造进行了一定的介......