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HDP-CVD相关论文
大马士革铜阻挡氮化硅薄膜沉积工艺的优化研究
为了实现A公司“提高产能降低成本”的目标,本文通过实验试图发现一种大规模生产中可以在沉积Si3N4薄膜工艺上取代HDP-CVD(High De......
学位
铜互连
氮化硅
铜阻挡层
PE-CVD
HDP-CVD
工艺优化
大马士革铜阻挡氮化硅薄膜沉积工艺优化研究
在铜大马士革(Damascene)工艺中,为避免由于铜向FSG中扩散所致电迁移的问题,需要在铜表面沉积一层氮化硅作为隔离铜和随后的介电材料的......
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铜互连
氮化硅
PECVD
HDP-CVD
工艺优化
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