IBED相关论文
介绍了一种新型表面改性技术——离子束增强沉积技术的原理、方法,综述了该技术在制备优良抗蚀膜层方面的优势及最新研究进展。
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采用连续压入法以及球滚接触疲劳法评定不同界面共混工艺所制Ｃｒ－Ｎ镀层膜基结合 强度，并对两种方法试验结果进行分析对比．试验结果表明，在......
用离子束增强沉积方法，在３０４不锈钢表面上制备了Ｓｉ，Ｙ—Ｓｉ，Ａｌ，Ｙ－Ａｌ薄膜，研究了它们在９５０℃、１０５０℃空气中的氧化，并采用ＥＰＭＡ及ＳＥＭ等技术分别对氧化产物进行了分析。对离......
Ion beam enhanced deposition (IBED) was employed to increase the fretting fatigue resistance of Ti6AI4V. CrN and TiN har......
AlN薄膜作为绝缘层材料,在微电子领域的高温高功率器件中有很大应用潜力.采用离子束增强沉积(IBED)法制备了AlN薄膜,采用X光电子能......
用离子束增强沉积的方法，在３０４不锈钢表面合成了Ａｌ及Ａｌ－Ｙ薄膜．通过在９５０℃、１０５０℃的恒温氧化和９５０℃的循环氧化实验发现，由于Ａｌ＿２Ｏ＿３保护膜的生成显著提高了３０４不锈......
研究了不同界面共混工艺对精密轴承镀层表面粗糙度的影响。结果表明 ,用氮离子进行界面反冲共混 ,在动态反冲共混过程中 ,随着氮离......
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用离子束增强沉积法（ＩＢＥＤ）在硅及铜基体上沉积了ＴｉＢ２薄膜，研究了轰击离子束能量和束流对薄膜的微结构及力学性能的影响。用俄歇电子谱（ＡＥＳ）分析了膜......
用离子束增强沉积的方法,在304不锈钢表面沉积Si,Si-Y薄膜,并研究其对不锈钢抗氧化性的影响。通过950℃,1050℃恒温氧化和950℃循......
采用Ｎ＾＋＋Ｃｒ＾＋多元离子束增强沉积合成（ＴｉＣｒ）Ｎ膜层，对膜层进行了ＡＥＳ，ＴＥＭ和ＸＲＤ分析、测试了膜基体系的力学性能和电化学性能。与普通物理气相沉积相比，多元离子束......
介绍了离子注入的技术特点及其在材料科学与工程中的应用,涉及离子注入在半导体及功能材料、金属材料、薄膜制备、非金属材料及材......
