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随着新技术的发展,对于微传感器,微执行器和微系统新的器件结构和新的应用,也被称微机电系统(MEMS),出现了对于计算机辅助工程与设......
表面微加工工艺是MEMS(Micro Electro Mechanical System)器件制造的一种重要技术,可以利用不同的材料在衬底硅片上不同的淀积顺序......
随着MEMSCAD技术的发展，节点分析法作为一种层次化和参数化的方法，已广泛应用于MEMS设计。课题组前期的研究工作已经完成版图到节点......
为提高无阀微泵性能,分别采用全耦合模型（FCM）和预先定义泵膜位移的模型（PDM）对基于扩散/收缩单元的静电无阀微泵的动态特性进行计算仿......
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采用任意拉格朗日—欧拉（ALE）描述建立了无阀微泵的静电-结构-流体全耦合三维模型,数值仿真表明：泵内流体的动态特性与泵膜的运动存在......
