在以前的研究中，许多研究者对类金刚石薄膜掺杂金属元素进行了研究，但是对金刚石薄膜掺杂金属的研究很少。目前，掺杂金属元素Ti进入金......

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本文采用MPCVD(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition)方法,制备多晶金刚石膜和单晶金刚石。在硅衬底上沉积高质量的自支撑......